1.分辨率

二次电子图像分辨率: 3.0nm (高真空30kV模式下)

                          10 nm (高真空3kV模式下)

背散射电子图像分辨率： 4.0nm(低真空30kV模式下)

2.放大率

5× 到 300,000×

3.电子光学系统

加速电压：0.3kV至30kV.

电子枪偏压： 自动四偏压开关连续可变固定偏压

射束校正装置： 电磁两阶段偏转

镜头系统：三阶段电磁透镜光学系统

扫描线圈：两阶段电磁偏转法

检测器和图像类型：二次电子探测器；二次电子图像（高真空模式）

　　　　　　　   　四型半导体背散射电子探测器;

背散射电子像（高、低真空模式）

4.标本测角仪阶段

运动范围：

X轴： 0 到 150mm

Y轴： 0 到 110mm

Z轴： 0 到 65mm

R轴：360°

T轴：-20°到90°

5轴驱动：偏心旋转功能，影像导航功能。

视野试样尺寸：  直径203毫米

最大试样尺寸：  直径300毫米

5.应急系统

应急控制：全自动气动阀

真空范围:  6- 270 pa (22 级)

真空泵：涡轮分子泵，210L/s

          机械泵，135L/min (50Hz),162L/min(60Hz)

6.成像功能

监视器尺寸：18.1或19.1英寸的液晶显示器（像素数：1280 * 1024）

图像显示模式：全屏幕显示（1280 * 960像素）

                   小屏幕显示（640 * 480像素）

                   双屏幕显示（640 * 480像素，两个窗格）

                   显示器具有信号叠加功能。