能谱探头:

硅飘移能谱探头，第六代无液氮设计

分辨率优于 129eV

分析元素范围：Be4-U92

峰背比：20000：1

场效应管

能谱软件:

分析导航器

实时帮助系统

信息管理系统

实验报告系统

元素面分布分析软件

电子束任意定位和分析软件

快速成分归类软件

化学相分析软件

化合物峰位拟合软件

电子束飘移校准软件